富芯森美半导体
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富芯森美半导体 创领功率器件新未来
 
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富芯森美晶圆钝化工艺

采用光阻玻璃钝化工艺,具有如下优势:

A:玻璃、Sipos (半绝缘多晶硅)、LTO (低温氧化膜)三层钝化保护,显著提升了芯片的可靠性以及封装良率。

B:先进的Photo Glass工艺,从技术上提升了芯片的可靠性。

光阻工艺

光阻工艺是指将玻璃粉和光阻剂按照一定比例配置成光阻玻璃,通过机器将玻璃粉均匀覆盖到硅片,通过黄光作业方式保留PN结位置的玻璃,如图示剖面图:

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