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采用光阻玻璃钝化工艺,具有如下优势:
A:玻璃、Sipos (半绝缘多晶硅)、LTO (低温氧化膜)三层钝化保护,显著提升了芯片的可靠性以及封装良率。
B:先进的Photo Glass工艺,从技术上提升了芯片的可靠性。
光阻工艺
光阻工艺是指将玻璃粉和光阻剂按照一定比例配置成光阻玻璃,通过机器将玻璃粉均匀覆盖到硅片,通过黄光作业方式保留PN结位置的玻璃,如图示剖面图: